사업소개
30년 이상 축적된 가공 기술과 연구 개발로 파인 세라믹 산업의 국산화를 주도하며, 고순도 Silicon, Quartz, Al2O3, SiC 재질을 최상의 품질 수준으로
생산하고 있습니다.
차별화된 기술 노하우로 고도화된 반도체 공정 환경에 적합한 제품을 생산하여 고객 맞춤형 서비스를 제공합니다.
핵심 기술 및 경쟁력
- Si-Ingot Growing부터 완제품 일괄 생산 체계로 우수한 품질과 가격 경쟁력 보유
- Etch Ring, Diffusion Ware의 특성에 적합한 Quartz 제품 가공 기술력 보유
- 세라믹 CIP, Slip, Gel Casting 성형 기법과 국내 최대 가스 챔버 (6.3m3) 보유
- 국내 최초 RBSC 소재 제작, 국내 유일 SiC 대형 구조물 생산 가능
주요 제품
| 재질 | 제품 사진 | 주요특성 |
|---|---|---|
| Si |
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반도체 공정용 silicon은 초 고순도의 단결정 silicon으로서 온도변화에 따른 물리적, 기계적 성질변화가 적으며 불순물(dopant) 첨가량 조정을 통해 저항율을 제어함 |
| Quartz |
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고순도 SiO2 재질로 높은 전기 절연성과 내열성 보유 |
| Al2O3 |
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높은 정밀도와 경도로 우수한 내마모성과 내열성 뛰어난 내약품성과 절연 저항 및 강도 |
| SiC |
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우수한 강도, 고온 안정성 및 열전도율 CVD Coating으로 불순물의 추가 팽창률 방지, 내식성 증가 |